详细内容

大家好！无锡亚电智能装备有限公司是半导体晶圆行业湿法制程服务商，专注于晶圆前道湿法刻蚀清洗技术，是国内首批推进半导体高端设备国产化的企业之一。公司核心产品为6吋、8吋、12吋湿法刻蚀清洗设备，包括槽式设备和单片设备，涵盖多种前道湿法工艺，如：B Clean，Oxide Remove,Nitride Remove,PRStrip,Particle Remove,Solvent Clean,Wafer Reclaim,metal Etch等。此外，为应对个性化的清洗需求，公司还研发了多种辅助清洗机台，如：炉管清洗机，片盒清洗机，部件清洗机，本地化学品供液设备，湿法工作台，烘箱等。目前已与无锡上华、宁波中芯、广州粤芯、无锡华虹、重庆华润微电子等客户达成友好合作。详细资料请参考本公司网站产品信息内容，欢迎广大客户来电咨询。

销售部电话： +86-510-8538-2188

邮箱： wendy.dong@aelsystem.com

手机： +86-13306189603  网站：www.aelsystem.com 


本地化学品供液设备Local CDS

- 配有液位感应、漏液感应、抽风系统保证使用安全；

- 设计双泵双桶，一备一用，自动切换，可24小时不间断工作；

- 液体双层管路设计，确保运送安全；

- PLC控制，HMI布局清晰合理；

- 多级权限，确保操作安全。