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大家好!无锡亚电智能装备有限公司是半导体晶圆行业湿法制程服务商,专注于晶圆前道湿法刻蚀清洗技术,是国内首批推进半导体高端设备国产化的企业之一。公司核心产品为6吋、8吋、12吋湿法刻蚀清洗设备,包括槽式设备和单片设备,涵盖多种前道湿法工艺,如:B Clean,Oxide Remove,Nitride Remove,PRStrip,Particle Remove,Solvent Clean,Wafer Reclaim,metal Etch等。此外,为应对个性化的清洗需求,公司还研发了多种辅助清洗机台,如:炉管清洗机,片盒清洗机,部件清洗机,本地化学品供液设备,湿法工作台,烘箱等。目前已与无锡上华、宁波中芯、广州粤芯、无锡华虹、重庆华润微电子等客户达成友好合作。详细资料请参考本公司网站产品信息内容,欢迎广大客户来电咨询。
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- 透明自动升降门设计,方便操作观察;
- 配置液位、漏液、废气排放压力等传感器,便于工作过程监控;
- 配置PLC、HMI便于参数设定、过程监控,操作更简洁;
- 配置超声波清洗功能,清洗效果更优。