大家好!无锡亚电智能装备有限公司是半导体晶圆行业湿法制程服务商,专注于晶圆前道湿法刻蚀清洗技术,是国内首批推进半导体高端设备国产化的企业之一。公司核心产品为6吋、8吋、12吋湿法刻蚀清洗设备,包括槽式设备和单片设备,涵盖多种前道湿法工艺,如:B Clean,Oxide Remove,Nitride Remove,PRStrip,Particle Remove,Solvent Clean,Wafer Reclaim,me
tal Etch等。此外,为应对个性化的清洗需求,公司还研发了多种辅助清洗机台,如:炉管清洗机,片盒清洗机,部件清洗机,本地化学品供液设备,湿法工作台,烘箱等。目前已与无锡上华、宁波中芯、广州粤芯、无锡华虹、重庆华润微电子等客户达成友好合作。详细资料请参考本公司网站产品信息内容,欢迎广大客户来电咨询。
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烤箱Oven(可根据实际要求进行定制)
- 电源:AC380 V 3φ 50HZ 24KVA 15A;
- 内尺寸:W1110×H630×D720*2,尺寸可调整;
- 送风马达:AC380 V 3φ 50/60HZ 1/2HP 4P;
- 送风风扇:SUS φ9";
- 材质:内、中SUS304#不锈钢板、外SS41#钢板烤漆;
- 温度范围:MAX200℃;
- 送风方式:水平送风。