大家好！无锡亚电智能装备有限公司是半导体晶圆行业湿法制程服务商，专注于晶圆前道湿法刻蚀清洗技术，是国内首批推进半导体高端设备国产化的企业之一。公司核心产品为6吋、8吋、12吋湿法刻蚀清洗设备，包括槽式设备和单片设备，涵盖多种前道湿法工艺，如：B Clean，Oxide Remove,Nitride Remove,PRStrip,Particle Remove,Solvent Clean,Wafer Reclaim,metal Etch等。此外，为应对个性化的清洗需求，公司还研发了多种辅助清洗机台，如：炉管清洗机，片盒清洗机，部件清洗机，本地化学品供液设备，湿法工作台，烘箱等。目前已与无锡上华、宁波中芯、广州粤芯、无锡华虹、重庆华润微电子等客户达成友好合作。详细资料请参考本公司网站产品信息内容，欢迎广大客户来电咨询。

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片盒清洗机Cassette Cleaner

- 清洗方式：旋转+喷淋；

- 控制方式：PLC控制、软件多重互锁；

- 清洗能力：高效清洗，清洗时间可调；

- 硬件保护：设计安装有排风系统、漏液检测系统等；

 

- 便于维护。