大家好！无锡亚电智能装备有限公司是半导体晶圆行业湿法制程服务商，专注于晶圆前道湿法刻蚀清洗技术，是国内首批推进半导体高端设备国产化的企业之一。公司核心产品为6吋、8吋、12吋湿法刻蚀清洗设备，包括槽式设备和单片设备，涵盖多种前道湿法工艺，如：B Clean，Oxide Remove,Nitride Remove,PRStrip,Particle Remove,Solvent Clean,Wafer Reclaim,metal Etch等。此外，为应对个性化的清洗需求，公司还研发了多种辅助清洗机台，如：炉管清洗机，片盒清洗机，部件清洗机，本地化学品供液设备，湿法工作台，烘箱等。目前已与无锡上华、宁波中芯、广州粤芯、无锡华虹、重庆华润微电子等客户达成友好合作。详细资料请参考本公司网站产品信息内容，欢迎广大客户来电咨询。

销售部电话： +86-510-8538-2188

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型号有FY-1500S、FY-2000S、FY-3000S三大系列，适用于6吋、8吋、12吋晶圆刻蚀，主要工艺为metal Etch，应用于半导体领域。

产品详情

单片刻蚀设备

 - 满足SEMI S2、SEMI S8和CE标准；

 - 结构合理紧凑，占地面积小；

 - 配置ULPA FFU ,带CDS供液及回收系统， 自动补液配液（通常3种药液）；

 - Chamber内正面2~3个Dispenser 及一个Fix Nozzle, 背面带DI Nozzle；

 - MTTR: 小于60min，MTBF: 最小500Hour；

 - 配置离子发生器及高清摄像头；

 - 4~24 个腔体。