等离子清洗机是一种表面处理设备, 用气体作为处理介质，它是利用能量转换技术以电能将气体转换为化学反应性和活性很高的气体等离子体，等离子体对固体样品表面进行相互作用，引起分子结构改变，从而对样品表面的有机污染物进行超清洗和使样品表面改性，以获得希望的表面特性。用气体作为处理介质有效地避免了对环境和样品带来的二次污染。等离子清洗机外接真空泵，工作时气体等离子体轻柔冲刷样品的表面，短时间就可以使有机污染物被彻底地清洗掉，同时污染物被真空泵抽走，其清洗能力达到分子级。等离子清洗机可对样品的表面改性，加强样品的粘附性、相容性和浸润性，也可对样品消毒和杀菌。

设备构成：

   设备由真空腔体及高频等离子电源、抽真空系统、充气系统、自动控制系统等部分组成。工作基本原理是在真空状态下，等离子作用在控制和定性方法下能够电离气体,利用真空泵将工作室进行抽真空达到所需工艺的真空度，再在高频发生器的作用下，将气体进行电离，形成等离子体（物质第四态）。高频发生器提供能量使气体电离成等离子态。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光，材料处理温度接近室温。这些高度活跃微粒子和处理的表面发生作用，得到了表面亲水性、拒水性、低摩擦、高度清洁、激活、蚀刻等各种表面改性。

真空腔的设置具有很强的灵活性，腔内有层极板插槽，根据需要每个插槽内的极板都可以设置为独立的阳极、阴极。

应用领域：

适用于LED、LCD、SMT领域，半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业等。
　　　★LED、LCD、SMT领域：LED打线、IC封装前的清洗，LCD制造工艺中清洗偏光片、排线基位，电子元器件、光学元器件表面的清洗。
　　　★硅胶、塑胶、聚合体领域：硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。

主要技术指标:

电源：380V 50Hz 3KW

整机尺寸： （长×宽×高） 约800×1000×1650mm（可定制尺寸）

舱体尺寸：（长×宽×高）约485×550×600mm

舱体容量:   约160L

射频电源：13.56MHz；0～100W连续可调

最大负荷电流：10ARMS

最大负荷电压：200VRMS

传输效率：>90％

全自动匹配

匹配时间：3～5s

可匹配阻抗实部范围：1～500Ω

可匹配阻抗虚部范围：－j200～＋j200

主电容：空气电容

起辉真空度：约10--30Pa左右

冷却方式：风冷

真空腔：不锈钢

电极规格：10层平板式电极板

电极：阴极、阳极。两极之间最大距离50mm；可调节

进气系统：2路工作气体可选：Ar2、N2、H2、CF4、O2

气体流量：国产高质量流量计，

真空泵：标配15L旋片泵+70L罗茨泵

整机采用日本三菱PLC、台湾威轮触摸屏控制